近，中微半导体设备（上海）有限公司自主研制的5纳米等离子体刻蚀机经台积电验证，性能优良，将用于首条5纳米制程生产线。5纳米（0.1毫米的二万分之一），将成为集成电路芯片上的小线宽。台积电计划明年进行5纳米制程试产，预计2020年量产?？淌椿切酒圃斓墓丶氨钢唬形⑼黄屏?ldquo;卡脖子”技术，让“上海制造”跻身刻蚀机梯队。

刻蚀机对精度的控制要求很高，方寸间近乎极限的操作?？淌闯叽绲拇笮∮胄酒露扔?/span>直接的关系，中微自主研发的部件使刻蚀过程的温控精度保持在0.75摄氏度内，达到水平。气体喷淋盘是刻蚀机的核心部件之一，与进口喷淋盘相比，其晶粒十分精细、致密，而且国产陶瓷镀膜的喷淋盘使用寿命延长一倍，造价却不到五分之一。

刻蚀机曾是一些发达国家的出口管制产品，但近年来，这种装备在出口管制名单上消失了。这说明如果我们突破了“卡脖子”技术。明年，台积电将进入5纳米制程，已通过验证的国产5纳米刻蚀机，预计会获得比7纳米生产线更大的*。

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